Tidak seperti kebanyakan Tablet berbasis Android yang menggunakan Qualcomm Snapdragon sebagai otak dari perangkatnya, Tab 3 Pro menggunakan Intel X5 Atom sebagai prosessor resminya dengan bergandengan RAM sebesar 2 GB DDR3, untuk Galaxy Tab S2 mempunyai ram sebesar 3 GB. Walaupun demikian tetap saja Tab 3 Pro ini mampu menjanjikan performa yang memuaskan simak saja dengan skor Antutu sampai 48857, Geekbench sampai 3269 dan untuk 3DMark Ice Storm Unlimited mampu mencapai 25.774. performa ini mampu bersaing dengan tablet flagship Galaxy Tab S2 yang mempunyai skor Antutu 51.815, Geekbench 3 mampu mencapai 4.206 dan Ice Storm Unlimited sampai 19.306